描述

AMC-AIMS不仅仅是另一种空气污染监测设备；这是一个为精确性和可靠性而设计的尖端解决方案。AMC分子污染仪AIMS探测器由MaSaTECH开发，用于检测浓度低于100ppt的污染物。该仪器适用于全天候氨监测、胺监测、总酸监测以及选择性酸（HCl、HF、Cl₂…）监测。
AMC-AIMS是一种非放射性离子迁移谱仪，涵盖了洁净室监测的所有要求。集成的PC允许仪器作为独立设备工作，也可以通过TCP/IP端口独立控制。该设备也可以进行多端口采样。
集成采样泵使仪器的操作更加简单，因为只需插入CDA即可启动房间监控。
先进的AMC-AIMS与质量流量控制器和压力传感器集成
除了其他功能外，AMC-IMS还集成了用于IMS漂移管的质量流量控制器和压力传感器。这允许对目标峰值位置进行绝对控制，并且没有峰值位置偏移。

应用
实时检测和量化
总酸、氯化物、氨和胺蚀刻过程-实时酸监测
光刻-氨和胺的实时监测
洁净室-AMC实时监控

功能
作为一种全面的空气污染监测设备，AMC-AIMS具有最高的灵敏度，能够检测到低于100 ppt的污染物水平。
非放射性离子迁移谱仪
最高灵敏度<100 ppt
多点分析的可能性
区分单个酸的高选择性可能性
峰值位置稳定性高

好处
非放射性
集成所有配件，包括取样泵和过程PC